CIF紫外臭氧清洗機

    紫外臭氧清洗機(UVO),是一種簡單,經濟,快速高效的材料表面清洗設備,能快速去除大多數無機基材(比 如石英,硅片,金,鎳,鋁,砷化鎵,氧化鋁等)上的有機污染物。CIF 推出的紫外臭氧清洗機系列產品采用 長壽命 UV石英低壓汞蒸汽格柵燈,樣品臺高度可調,可選加熱控溫,以便達到清洗效果。

    更新時間:2024-06-12 16:46:33
  1. 詳細信息

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紫外臭氧清洗機原理:

通過紫外燈發出適當強度的 185nm 和 254nm 波長高能紫外線破壞有物分子 ( 污染物 )。185nm 波長紫外光的光能 量能將空氣中的氧氣 (O2) 分解成臭氧 (O3),而 254nm 波長的紫外光的光能量能將 O3 分解成 O2 和原子氧 (O),? ?254 nm 紫外線同時激發表面的有機物分子,提高其敏感性,可以被臭氧分子團破壞。在連續進行的光敏氧化反應中,生成的 活性原子氧 (O) 與活化了的有機物 ( 即碳氫化合物 ) 分子發生氧化反應,生成揮發性氣體 ( 如 CO2,CO, H2O,NO 等 ) 逸 出材料表面,從而清除粘附在材料表面上的碳和有機污染物,達到清洗的目的。

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?產品特點

◆ ?UVO 基礎型系列采用可編程數字控制器,設置操作簡單方便,四鍵操作控制。UVOP、UVOT 系列采用 5 寸彩色觸摸屏?中英文互動操作界面,設置顯示計時時間及加熱溫度。

??自動補償功能,自動恒定光強光密度,不會因為低壓汞燈老化光強衰減影響清洗效果。

◆ ?數字倒計時顯示清洗時間,1-999 分鐘之間可自行設置清洗時間。

◆ ?任何時間可以手動中斷處理過程。

??自動記錄之前清洗參數設置。

◆ ?樣品臺可控溫(可選),控溫范圍 RT-200℃,控溫精度 0.1℃。

◆ ?頂置下壓式鉸鏈開關蓋方式,操作簡單方便。

◆ ?上置式樣品臺設計,360 度自由放置樣品,操作方便。

◆ ?樣品臺高度可調,通過調節燈與樣品之間的間距,可以合理定位樣品高度和位置,并可鎖定。

◆ ?UV?石英低壓汞蒸汽格柵燈,燈管壽命大約為 8000 小時。

◆ ?高強度 UV 燈源,波長 185nm 和 254nm。

◆ ?可累計計時 UV 格柵燈使用時長,更換提示。

◆ ?UV 反射罩(長 X 寬)比 UV 格柵燈大 25mm。

◆ ?雙重安全保護,帶有安全鎖,當清洗腔打開時,系統自動關掉 UV 燈,并有燈光通斷提示。

◆ ?帶進 &?出氣口雙氣路設計。

◆ ?可接入氧氣或者臭氧,增加臭氧產量。

◆ ?UVO5 可選外置臭氧中和器,UVO9、UVO13 系列可選外置或者內置臭氧中和器,用于臭氧清除。

◆ ?可根據客戶要求定制鋁或石英材料真空反應腔。

?技術參數

?

產品型號

UVO5/UVO5P/UVO5T

UVO9/UVO9P/UVO9T

UVO13/UVO13P/UVO13T

UV 燈尺寸

130x130mm

230x230mm

330x330mm

樣品臺高度

0-50mm 可調

0-50mm 可調

0-50mm 可調

???

AC220V 50/60Hz

140/190/690W

AC220V 50/60Hz

140/190/690W

AC220V 50/60Hz

140/190/1160W

外型尺寸

L260xW320xH200mm

L370xW470xH200mm

L465xW575xH200mm

包裝尺寸

L375xW470xH390mm

L490xW600xH320mm

L575xW680xH320mm

整機重量

8kg

15kg

18kg

注:?UVO 型基礎型樣品臺不帶加熱功能,樣品臺高度可調;?UVOP 可選配樣品臺加熱功能,樣品臺高度可調;?UVOT 標配?樣品臺加熱功能,樣品臺高度可調??蛇x臭氧中和裝置。

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