勻膠機
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德國SPS-EUROPE公司勻膠機具有轉速穩定,啟動快速,涂膠一致性和均勻性好等特點,廣泛應用于半導體、化工材料、硅片、晶片、基片、導電玻璃等工藝制版表面涂覆。
更新時間:2020-03-12 16:31:11
工作原理
勻膠機(spin coater)的工作原理是高速旋轉基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,勻膠機常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。
獨有特征
u 可編程全尺寸彩色觸摸屏控制器,可拆卸,耐化學試劑腐蝕。速度、加速和時間可編程;無限量程序存儲空間,可存儲旋涂多步驟工作協議,具有協議密保功能。
u 可編程轉速范圍: 1rpm-12,000rpm,轉速參數設置范圍廣,高精確性旋轉速度 (± 0.1 rpm)。
u 數字電機控制,帶增速數字顯示信號反饋,以避免轉速過量,從而提升涂膜的品質。
u 防靜電PET透明襯套,杜絕工作倉室的交叉污染。
u 一體化結構設計,殼體采用α-聚丙烯(NPP-H)材質,傳動系統采用工程塑料材質,壽命長耐腐蝕。
u 采用經過熱處理透明玻璃蓋。玻璃蓋帶彈簧可自動將蓋子固定在理想位置,玻璃蓋上帶注射器固定架和氮氣擴散器,注射器固定架以固定的位移距離和位置注入抗蝕劑/化學試劑,氮氣擴散器在旋涂過程可注入到工作艙氮氣/氬氣,工作艙環境可控。
u 安全互鎖裝置:工作艙蓋鎖止,艙蓋打開旋轉自動停止,真空不足或沒有真空旋轉自動停止,過載保護。
u USB端口:可上傳和下載旋涂協議和軟件。
u 三個外接控制端口,可用于接入注入單元自動控制,氮氣擴散器控制等。
u 產品通過CE認證。
技術參數
SPN150i | SPN200i | |
控制方式 | 全彩觸摸屏控制界面 | 全彩觸摸屏控制界面 |
結構材質 | 聚丙烯(NPP-H)材質 | 聚丙烯(NPP-H)材質 |
旋轉速度 | 1-12000rpm ±1rpm steps | 1-12000rpm ±1rpm steps |
旋轉精度 | ±0.1rpm | ±0.1rpm |
旋轉方向 | 順時針,逆時針,交換擺動 | 順時針,逆時針,交換擺動 |
加速/減速 | 1-30,000rpm/秒 (每步可選) | 1-30,000rpm/秒 (每步可選) |
旋轉時間 | 0.1-99999秒/步 | 0.1-99999秒/步 |
基片范圍 | 160mm 或6"直徑或4"x4"方片 | 260mm 或6"直徑或6"x6"方片 |
腔體直徑 | 202mm | 302mm |
外接控制端口 | 3個 | 3個 |
真空開關 | 有 | 有 |
外形尺寸 | 27.5x45.0x25.0cm(WxDxH) | 380x559x307cm(WxDxH) |
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